中国科学院院士，清华大学精密仪器与机械学系特聘教授、博士生导师，清华大学机械工程学院院长，清华大学天津高端装备研究院名誉院长
雒建斌院士在纳米摩擦学和纳米制造方面有非常前瞻且深入的研究。他研制出了纳米级润滑膜厚度测量仪，发现了薄膜润滑的系列新现象，建立了薄膜润滑物理模型和润滑失效准则。他将纳米摩擦学研究与先进电子制造相结合，在表面平坦化方面取得了关键技术突破，实现了表面粗糙度小于1Å的超光滑表面制造，并应用到计算机硬盘、单晶硅片、蓝宝石晶圆等制造中
登录后可发表评论
评论
加载更多