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雒建斌

李子豪 35 2022-07-20
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中国科学院院士,清华大学精密仪器与机械学系特聘教授、博士生导师,清华大学机械工程学院院长,清华大学天津高端装备研究院名誉院长

雒建斌院士在纳米摩擦学和纳米制造方面有非常前瞻且深入的研究。他研制出了纳米级润滑膜厚度测量仪,发现了薄膜润滑的系列新现象,建立了薄膜润滑物理模型和润滑失效准则。他将纳米摩擦学研究与先进电子制造相结合,在表面平坦化方面取得了关键技术突破,实现了表面粗糙度小于1Å的超光滑表面制造,并应用到计算机硬盘、单晶硅片、蓝宝石晶圆等制造中


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